半導体製造アプリケーションで使用する高性能グラファイト サセプタが必要な場合、Semicorex バレル リアクター内シリコン エピタキシャル堆積が理想的な選択肢です。高純度の SiC コーティングと卓越した熱伝導率により、優れた保護特性と熱分布特性を実現し、最も困難な環境でも信頼性が高く一貫したパフォーマンスを実現するための有力な選択肢となっています。