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ウエハ搬送用PSSハンドリングキャリア

Semicorex のウェーハ搬送用 PSS ハンドリングキャリアは、最も要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに設計されています。当社の超高純度グラファイトキャリアは、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄に耐えることができます。 SiC コーティングされたキャリアは、優れた熱分布特性と高い熱伝導率を備え、コスト効率に優れています。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場で広く使用されており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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PSS LED用エッチングキャリアトレイ

Semicorex では、エピタキシャル成長やウェーハ取り扱いプロセスに必要な過酷な環境向けに、LED 用 PSS エッチングキャリアトレイを設計しました。当社の超高純度グラファイトキャリアは、MOCVD、エピタキシーサセプタ、パンケーキまたはサテライトプラットフォーム、エッチングなどのウェーハハンドリングプロセスなどの薄膜堆積フェーズに最適です。 SiCコートキャリアは耐熱性、耐食性が高く、熱分布特性に優れ、熱伝導率も高いです。当社の LED 用 PSS エッチングキャリアトレイはコスト効率が高く、価格面でのメリットが非常に優れています。当社は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場に対応しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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