Semicorex バレル サセプタ エピ システムは、優れたコーティング密着性、高純度、耐高温酸化性を備えた高品質の製品です。均一な熱プロファイル、層流ガス流パターン、および汚染防止により、ウェーハチップ上のエピキシャル層の成長には理想的な選択肢となります。コスト効率とカスタマイズ性により、市場での競争力の高い製品となっています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex のエピタキシャル リアクター チャンバー用 SiC コーティング サセプター バレルは、優れた熱分布と熱伝導特性を備え、半導体製造プロセス向けの信頼性の高いソリューションです。また、腐食、酸化、高温に対する耐性も優れています。
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