Semicorex のウェーハ搬送用 PSS ハンドリング キャリアは、最も要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに設計されています。当社の超高純度グラファイトキャリアは、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄に耐えることができます。 SiC コーティングされたキャリアは、優れた熱分布特性と高い熱伝導率を備え、コスト効率に優れています。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場で広く使用されており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレルは、高純度 SiC でコーティングされた最高品質のグラファイト製品です。その優れた密度と熱伝導率により、LPE プロセスでの使用に理想的な選択肢となり、腐食性および高温環境において優れた熱分散と保護を実現します。
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