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ICPエッチングウェーハホルダー

Semicorex の ICP エッチングウェーハホルダーは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハハンドリングプロセスに最適なソリューションです。当社のキャリアは、最大 1600°C までの安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガスフローパターンを保証し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。

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Semicorex では、エピタキシャル成長やウェーハ取り扱いプロセスに必要な過酷な環境向けに、LED 用 PSS エッチングキャリアトレイを設計しました。当社の超高純度グラファイトキャリアは、MOCVD、エピタキシーサセプタ、パンケーキまたはサテライトプラットフォーム、エッチングなどのウェーハハンドリングプロセスなどの薄膜堆積フェーズに最適です。 SiCコートキャリアは耐熱性、耐食性が高く、熱分布特性に優れ、熱伝導率も高いです。当社の LED 用 PSS エッチングキャリアトレイはコスト効率が高く、価格面でのメリットが非常に優れています。当社は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場に対応しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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PSS半導体用エッチングキャリアプレート

Semicorex PSS 半導体用エッチングキャリアプレートは、エピタキシャル成長やウェーハハンドリングプロセスに必要な高温で過酷な化学洗浄環境向けに特別に設計されています。当社の半導体用超高純度 PSS エッチングキャリアプレートは、MOCVD やエピタキシサセプタ、パンケーキ、またはサテライトプラットフォームなどの薄膜堆積段階でウェーハをサポートするように設計されています。当社のSiCコーティングキャリアは、高い耐熱性、耐腐食性、優れた熱分布特性、高い熱伝導率を備えています。当社はコスト効率の高いソリューションをお客様に提供しており、当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカの市場をカバーしています。 Semicorex は、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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