Semicorex の ICP プラズマ エッチング システム用 SiC コーティング キャリアは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセスにとって信頼性が高くコスト効率の高いソリューションです。当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を提供する微細な SiC 結晶コーティングを備えています。