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プラズマ処理フォーカスリング

Semicorex プラズマ処理フォーカスリングは、半導体産業におけるプラズマエッチング処理の高い要求を満たすように特別に設計されています。当社の高度な高純度炭化ケイ素コーティングされたコンポーネントは、極限環境に耐えるように構築されており、炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などのさまざまな用途での使用に適しています。

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