Semicorex の ICP プラズマ エッチング トレイは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセス向けに特別に設計されています。当社のキャリアは、最大 1600°C までの安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガス フロー パターンを提供し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。