Semicorex の半導体処理用耐久性フォーカス リングは、半導体処理で使用されるプラズマ エッチング チャンバーの極限環境に耐えるように設計されています。当社のフォーカス リングは、緻密で耐摩耗性の高い炭化ケイ素 (SiC) コーティングでコーティングされた高純度グラファイトでできています。 SiCコーティングは耐食性、耐熱性に優れ、熱伝導性にも優れています。フォーカス リングの耐用年数を向上させるために、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用してグラファイト上に SiC を薄層で塗布します。
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