中国バレルサセプタ、MOCVDサセプタ、ウェーハボート

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RTA SiC ウェーハキャリア

Semicorex RTA SiC ウェーハキャリアは、半導体製造における急速熱アニールプロセス用に特別に設計された、重要なウェーハ搬送ツールです。 Semicorex RTA SiC ウェハキャリアは、急速熱アニールプロセスに最適なソリューションであり、半導体製造の歩留まりを向上させ、半導体デバイスの性能を向上させるのに役立ちます。

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RTP/RTA SiC コーティングキャリア

Semicorex RTP/RTA SiC コーティングキャリアは、成膜環境の最も厳しい条件に耐えるように設計されています。高い耐熱性と耐腐食性を備えたこの製品は、エピタキシャル成長に最適な性能を発揮するように設計されています。 SiC コーティングされたキャリアは、高い熱伝導率と優れた熱分散特性を備えており、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に対して信頼性の高いパフォーマンスを保証します。

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Semicorex は、中国における炭化ケイ素コーティングされたグラファイトサセプタの大規模メーカーおよびサプライヤーです。 Semicorex グラファイトサセプタは、中国で高い耐熱性と耐腐食性を備えたエピタキシー装置用に特別に設計されました。当社の RTP RTA SiC コーティングキャリアは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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