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TaC コーティングるつぼ
Semicorex TaC コーティングるつぼは、極端な温度用途向けに設計された高性能コンテナで、金属溶解プロセスと高度な半導体プロセスの両方に適しています。 Semicorex を選択するということは、最も要求の厳しい環境において卓越した純度、耐久性、安定性を実現する最先端のコーティング技術とエンジニアリングの専門知識を利用できることを意味します。*
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TaC コーティングされた遊星プレート
Semicorex TaC コーティングされた遊星プレートは、MOCVD エピタキシャル成長用に設計された高精度コンポーネントで、複数のウェーハポケットと最適化されたガス流量制御による遊星運動を特徴としています。 Semicorex を選択するということは、半導体業界に優れた耐久性、純度、プロセスの安定性を提供する高度なコーティング技術とエンジニアリングの専門知識を利用できることを意味します*。
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CVD SiCシャワーヘッド
Semicorex CVD SiC シャワー ヘッドは、高度な半導体製造における CCP および ICP エッチング システム用に設計された高純度の精密設計コンポーネントです。 Semicorex を選択するということは、最も要求の厳しいプラズマ プロセスに対して、優れた材料純度、加工精度、耐久性を備えた信頼性の高いソリューションを獲得することを意味します。
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グラファイトスライドプレート
Semicorex のグラファイト スライド プレートは自己潤滑機能を備えており、機械的な走行抵抗を効果的に低減し、作業効率を向上させ、潤滑の不十分または失敗によって引き起こされる機械的故障を最小限に抑えることができます。
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ブロンズグラファイトブッシュ
Semicorex ブロンズグラファイトブッシュは、高負荷容量、耐衝撃性、高温耐性、強力な自己潤滑能力の特性を備えており、腐食性液体の侵食や磨耗にも耐えることができます。このブロンズグラファイトブッシュは、オイルフリー、高温、高負荷、低速、防汚、耐腐食、耐放射線環境といった複雑な作業条件下で動作する機器に特に適しています。
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自己潤滑ベアリング
セミコレックス自己潤滑軸受は、黒鉛材料の自己潤滑特性を組み合わせたタイプの軸受です。これらは、高度な潤滑要件と複雑な環境条件を伴う産業分野で広く使用されています。
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