Graphite Boat は、業界の技術革新の最前線に立っており、性能、純度、寿命を向上させるために設計された一連の画期的な進歩を特徴としています。以下では、グラファイト ボートの卓越性を定義するコア テクノロジーについて詳しく説明します。
炭化ケイ素 (SiC) は、半導体技術分野の主要な材料として浮上しており、さまざまなエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス用途にとって非常に望ましい優れた特性を備えています。高品質の SiC 単結晶の製造は、パワー エレクトロニクス、LED、高周波デバイスなどのデバイスの機能を向上させるために不可欠です。この記事では、4H-SiC 単結晶成長のための物理蒸気輸送 (PVT) 法における多孔質グラファイトの重要性を詳しく掘り下げます。
特殊黒鉛とは、炭素質量分率が 99.99% 以上の黒鉛であり、「三高黒鉛」(高強度、高密度、高純度)とも呼ばれます。高強度、高密度、高純度、高い化学的安定性、高い熱伝導性および電気伝導性、高温耐性、耐放射線性、強力な潤滑性、および容易な加工を特徴としています。等方性黒鉛は特殊黒鉛に属します。
2023年11月、セミコレックスは、高電圧、大電流HEMTパワーデバイスアプリケーション向けの850V GaN-on-Siエピタキシャル製品をリリースしました。 HMET パワーデバイス用の他の基板と比較して、GaN-on-Si はより大きなウェーハサイズとより多様なアプリケーションを可能にし、工場の主流のシリコンチッププロセスに迅速に導入することもできます。これは、電力の収率を向上させるための独自の利点です。デバイス。
C/Cコンポジットは、炭素繊維を強化材とし、炭素をマトリックスとして加工・炭化して作られた炭素-炭素複合材料であり、機械的特性や耐高温特性に優れています。この材料は当初、航空宇宙および特殊分野で使用されていましたが、技術の成熟に伴い、徐々に太陽光発電、自動車、リチウム電池、医療機器などの分野で使用されるようになりました。
SiCウエハを支えるトレイ(台)は「サセプタ」とも呼ばれ、半導体製造装置の中核部品です。そして、ウェーハを運ぶこのサセプターは一体何なのでしょうか?