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C/Cコンポジットとは何ですか？

C/Cコンポジットは、炭素繊維を強化材とし、炭素をマトリックスとして加工・炭化して作られた炭素-炭素複合材料であり、機械的特性や耐高温特性に優れています。この材料は当初、航空宇宙および特殊分野で使用されていましたが、技術の成熟に伴い、徐々に太陽光発電、自動車、リチウム電池、医療機器などの分野で使用されるようになりました。

半導体用途における石英製品

半導体業界では石英が広く使用されており、高純度石英製品はウェーハ製造においてさらに重要な消耗品です。シリコン単結晶るつぼ、結晶ボート、拡散炉コアチューブ、その他の石英コンポーネントの製造には、高純度の石英ガラス製品を使用する必要があります。

水晶とは何ですか？

石英（SiO₂）という素材は一見ガラスとよく似ていますが、一般的なガラスが多くの成分（珪砂、ホウ砂、ホウ酸、重晶石、炭酸バリウム、石灰石、長石、ソーダなど）で構成されているのが特徴です。一方、石英には SiO2 成分のみが含まれており、二酸化ケイ素四面体構造単位の微細構造は単純なネットワークで構成されています。

炭化ケイ素発熱体

高温加熱の世界では、極端な条件下で精度と信頼性を達成することが最も重要です。これらの課題に対処するために、可能性の限界を押し上げる革新的な素材とデザインが開発されてきました。そのような進歩の 1 つは、炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイト発熱体です。

CVD-SiC コーティングに対する温度の影響

化学蒸着 (CVD) は、航空宇宙、エレクトロニクス、材料科学などの産業でさまざまな用途に使用される、高品質のコーティングを製造するための汎用技術です。 CVD-SiC コーティングは、高温耐性、機械的強度、優れた耐食性などの優れた特性で知られています。

炭化タンタルコーティングは、重要な高強度、耐食性、化学的に安定した高温構造材料であり、融点は最大 4273 °C であり、最も高い耐熱性を備えたいくつかの化合物の 1 つです。優れた高温機械的特性、高速気流による磨耗に対する耐性、耐摩耗性、グラファイトおよびカーボン/カーボン複合材料との優れた化学的および機械的適合性を備えています。したがって、GaN LEDやMOCVDなどのSiCパワーデバイスのエピタキシャルプロセスにおいて、TaCコーティングはH2、HCl、NH3に対する優れた耐酸性および耐アルカリ性を備えており、グラファイト基板材料を完全に保護し、成長環境を浄化することができます。

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半導体用途における石英製品

水晶とは何ですか？

炭化ケイ素発熱体

CVD-SiC コーティングに対する温度の影響

CVD法によるTaCコーティング