> ニュース > 業界ニュース

業界ニュース

TaC コーティングは半導体のグラファイト部品をどのように保護するのか

ここで、TaC コーティングの革新的な革新が登場し、セミコレックスの高度なソリューションが最も永続的な生産上の課題に直接対処するように設計されている理由です。グラファイトはその熱特性において優れていますが、堅牢なシールドがなければ、多くのプロセスチャンバー内の攻撃的な条件に耐えることができません。

エッチングとエッチングされた形態

半導体チップの製造プロセスは、米粒の上に高層ビルを建てるようなものです。リソグラフィーマシンは都市計画者のようなもので、「光」を使ってウエハー上に建物の青写真を描きます。一方、エッチングは精密な工具を備えた彫刻家のようなもので、設計図に従って溝、穴、線を正確に彫り出す責任があります。この「溝」の断面を注意深く観察すると、その形状が均一ではないことがわかります。台形 (上部が広く、下部が狭い) のものもあれば、完全な長方形 (垂直な側壁) のものもあります。これらの形状は任意ではありません。その背後には物理的および化学的原理の複雑な相互作用があり、チップの性能を直接決定します。

CMP プロセスにおけるディッシングとエロージョンとは何ですか?

化学的腐食と機械的研磨を組み合わせて表面の欠陥を除去する化学機械研磨 (CMP) は、ウェーハ表面全体の平坦化を達成するための重要な半導体プロセスです。 CMP により、ディッシングとエロージョンという 2 つの表面欠陥が生じ、相互接続構造の平坦性と電気的性能に大きな影響を与えます。

ウェーハソープロセス中に CO2 が導入されるのはなぜですか

ダイシング水への CO₂ の導入は、静電気の蓄積を抑制し、汚染を軽減するためのウェーハソープロセスにおける重要な技術的手段であり、それによってダイシングの歩留まりとチップの信頼性が向上します。

自己潤滑ブッシュとは

自己潤滑ブッシュとは、余分な潤滑剤を添加することなく潤滑を実現できるブッシュの総称であり、含油ブッシュや複合ブッシュなども自己潤滑軸受に含まれます。基本的な原理は、油を含む潤滑要素、材料自体の固体潤滑剤、または細孔油貯留などの構造設計を通じて潤滑材料を自動的に放出し、摩擦損傷を軽減することです。

シリコンエピタキシープロセスとは何ですか?

シリコンエピタキシーは、集積回路の主要な製造プロセスです。これにより、高濃度ドープの埋め込み層を備えた低濃度ドープのエピタキシャル層上に IC デバイスを製造できると同時に、成長した PN 接合を形成できるため、IC の絶縁問題も解決されます。シリコンエピタキシャルウェーハは、デバイスの順方向電圧降下を低減しながら、PN 接合の高い降伏電圧を確保できるため、個別半導体デバイスを製造するための主要な材料でもあります。シリコンエピタキシャルウェーハを使用して CMOS 回路を製造すると、ラッチアップ現象を抑制できるため、シリコンエピタキシャルウェーハは CMOS デバイスでますます広く使用されて......

<1 2 3 4 5...38 >