断熱カバー

セミコレックス断熱カバーは、液相エピタキシー炉（LPE）炉で使用するために特別に設計されており、エピタキシャル成長プロセス中に優れた熱管理を提供します。 LPEシステムの重要なアクセサリとして設計されたこれらの断熱材は、一貫した炉温度プロファイルを維持し、熱損失を最小限に抑え、全体的なプロセスの安定性を高める上で重要な役割を果たします。

当社の断熱カバーは、高動作温度で優れた熱断熱特性、機械的強度、および寸法の安定性を提供します。厳格なフェルト建設により、カバーが激しい熱サイクルに長期にさらされた後でも、カバーが形状と絶縁性を維持することを保証します。これは、清潔で制御されたエピタキシャル成長環境を維持するために重要です。

断熱カバーは、基板ウェーハが処理される熱ゾーンを保護および安定化するために位置するLPE炉チャンバー内に収まるように正確に製造されています。熱散逸と外部温度の変動を効果的に減らすことにより、それらはより均一な熱磁場に寄与し、より良い結晶性品質とエピタキシャル層の再現性をもたらします。

グラファイトハードフェルト（炭素繊維強化）、強化された複合複合硬さのフェルトまたは硬化フェルト（一般に炭素繊維複合材料としても知られている）としても知られているのは、熱絶縁材料です。本体（炭素繊維）および補助材料（熱硬化樹脂、炭素紙、グラファイト紙など）で構成されると見なすことができます。一般的な製造プロセスは、グラファイト紙、ポリアクリロニトリルベースの炭素フェルト、およびポリアクリロニトリルベースの炭素布を1つに組み合わせてから、それらを治療して形成し、高温で1回または2回処理することです。また、短い炭素繊維スクラップを使用して、リサイクルを通じて炭素繊維が硬く感じられることもあります。同時に、炭素繊維のさまざまな種類の原材料によれば、ハードフェルトは、アスファルトベースのハードフェルト、ポリアクリロニトリルベースのハードフェルト、およびビスコースベースのハードフェルトに分けることができます。

積層法は、熱硬化樹脂で層ごとに薄い炭素繊維フェルト層を結合することです。プリプレグの敷設された層を上部と下部平らな金型の間に層で配置し、圧力と高温下でそれらを硬化させることにより、このプロセスは木製の合板の生産方法と装備を直接使用し、樹脂の流れ特性に従ってそれらを改善および完成させることができます。この成形プロセスは、主にさまざまな仕様とさまざまな用途の複合材料を生成するために使用されます。

針パンチ積分構造とは、針繊維を特定の厚さのフェルト体に接続し、針のパンチングプロセスを通じて一定の厚さのフェルト体に接続し、浸漬を介して熱断熱材を直接押し付けて形成することにより、硬質炭素繊維積分フェルトを準備する方法を指し、次に炭化、グラフィット化、その後の化学蒸気堆積プロセスを形成します。この方法は、不十分な横せん断強度、簡単な解剖と亀裂、全体的な密度とパフォーマンスの不十分なプロセス、低コスト、短いサイクルなど、従来のラミネーション法によって準備された剛性炭素繊維積分法の欠点を克服するだけでなく、3次元の織物構造と比較して、単純なプロセス、低コスト、短いサイクルの特性もあります。