黒アルミナセラミック真空チャック

黒アルミナセラミックAl2O3を主成分とし、遷移金属酸化物を着色剤として、焼結助剤を添加し、高温で焼結します。独自の比率で配合された黒色アルミナ セラミックは、35% ～ 40% の範囲で制御された気孔率を実現し、その気孔サイズはマイクロメートルまたはナノメートルスケールに達します。 Semicorex ブラック アルミナ セラミック真空チャックは、この微多孔質ブラック アルミナ セラミックから細心の注意を払って製造されています。 Semicorex の黒色アルミナ セラミック真空チャックは、通常は真空装置に接続されており、これらの均一に分布した微細孔を活用して、半導体ウェハや基板をしっかりと均等にクランプして固定し、それによって処理操作中の中断のない安定性を確保します。

Semicorex ブラックアルミナセラミック真空チャックの利点

1. 安定した均一なクランプ固定性能

2. 迷光抑制のための優れた光学特性

3. 高硬度、強度、耐摩耗性、耐熱性、耐食性などの優れた材料特性

4.長寿命

5. 費用対効果の高い価格設定

Semicorex ブラックアルミナセラミック真空チャックの用途

1. 半導体製造と太陽光発電産業

Semicorex の黒色アルミナ セラミックは多孔質構造であるため、真空チャック寸法の異なるウエハを均一にクランプして固定できるため、加工中の不均一な吸着力によるウエハの変形や位置ずれを防ぎます。これらは、フォトリソグラフィー、エッチング、イオン注入などの最先端の半導体製造プロセスや、太陽電池の製造などの太陽光発電産業で採用されています。

2. 精密光学加工産業

Semicorex の黒色アルミナ セラミック真空チャックは、光学部品 (レンズ、プリズム、ミラーなど) の加工と組み立てに最適です。 Semicorex の黒色アルミナ セラミック真空チャックは、迷光抑制に関する優れた光学特性のおかげで、迷光が光学検出の精度に影響を与えるのを大幅に防ぐことができます。

3. 航空宇宙産業および軍事産業

Semicorex ブラック アルミナ セラミック真空チャックは、航空宇宙産業や軍事産業における精密部品の機械加工や組み立てに最適です。ブラックアルミナセラミック真空チャックの固有の特性により、高強度、高温、高腐食を特徴とする極端な作業環境に耐えることができます。