環状溝付きアルミナチャック

セミコレックスの環状溝付きアルミナチャックは、複数の同心円状の環状溝が連続した表面構造を採用しています。真空ポンプと接続するとこの溝がリング状の負圧ゾーンを形成し、薄いウェーハやワークを正確な位置決めで安定して保持します。 Semicorex の環状溝付きアルミナ チャックは、厳格な平坦度管理と均等に分散された吸着力が必要な作業条件下で良好に機能し、ウエハの保持、露光位置決め、プラズマ エッチング、さらにはウエハの検査および搬送プロセスに広く適用されています。

Semicorex 環状溝付きアルミナチャックの利点

1. 優れた耐高温性

緻密化焼結によって製造されたアルミナセラミックスは、顕著な熱性能を示します。この材料特性により、Semicorex の環状溝付きアルミナ チャックは、極度の高温の作業環境下でも、長期使用による構造の変形や性能の低下がなく、安定した性能を発揮します。

2.均一な吸着力

Semicorex 環状溝付きアルミナチャック吸着面には複数の環状溝があり、その中に安定したリング状の真空ゾーンが形成されています。この構成により、主要なウェハ接触領域全体で一貫した吸着力が可能になり、部分的なウェハの変形や反りが大幅に低減されます。

3. 優れた構造安定性と高い繰り返し位置決め精度

Semicorex の環状溝付きアルミナ チャックは、優れた材料剛性と構造安定性を誇るため、長時間の繰り返し真空クランプ作業でも優れた平面度および安定した位置決め精度を維持できます。

4. 強い耐薬品性

のためアルミナSemicorex の環状溝付きアルミナ チャックは、信頼性の高い化学的安定性により、ほとんどの酸性およびアルカリ性物質、およびさまざまな腐食性プロセス ガスに対する優れた耐性を備えており、困難な腐食性動作条件に高度に適応します。

5.優れた清浄度

厳格な材料純度管理と緻密化処理のおかげで、Semicorex 環状溝付きアルミナ チャックは、使用中に粒子が落ちたり不純物が放出されることはほとんどなく、半導体クリーンルームの厳しい低汚染基準を完全に満たしています。

セミコレックスを選ぶ理由

中国の業界をリードする企業として、Semicorex は統合された生産ラインと経験豊富な技術チームを擁しています。当社は、お客様に合わせた技術サポートと最適化されたプロセス ソリューションを提供し、材料純度、チャックの形状、寸法、平面度、公差、その他の要件に合わせた環状溝付きアルミナ チャックの非標準的なカスタマイズ製造を提供できます。