アルミナロボットアーム

Semicorex アルミナロボットアームは通常、ウェーハハンドリングロボットに取り付けられ、ウェーハ搬送として機能します。エンドエフェクター半導体ウエハを必要な位置に安全かつ正確に搬送する機能を備えています。アルミナ製ロボットアームは内部の空気穴とガスチャンネルを通じて安定した負圧を発生させ、半導体ウエハをしっかりと吸着します。この吸着方式はウェーハ表面への穏やかな接触を実現し、望ましくない表面の傷や機械的損傷を効果的に防止し、半導体ウェーハを全面的に保護します。

アルミナ製ロボットアームのメリット

セミコレックスでは、原料の選定から製品の徹底した品質管理を行っております。

そのアルミナロボットアームは高純度のアルミナから精密に製造されています。アルミナ下記のような優れた特性を示す造粒粉末です。

1.超高清浄度

Semicorex アルミナ ロボット アームは、高い材料純度と緻密な微細構造を特徴としており、動作中の金属イオンの放出や微粒子の脱落を回避でき、半導体製造の厳しい清浄度要件を完全に満たします。

2. 高い電気絶縁性能

Semicorex アルミナ ロボット アームは、高い電気絶縁性能のおかげで、動作中の電荷の発生を最小限に抑えることができます。この信頼性の高い性能により、アルミナ製ロボットアームによって半導体コンポーネントに転送される不要な電荷を効果的に回避し、敏感な半導体コンポーネントへの損傷のリスクを低減できます。

3. 優れたコストパフォーマンス

とは異なりますSiCロボットアーム、アルミナ製ロボットアームは、安定した性能を維持しながら経済的な価格を実現します。 Semicorexのアルミナ製ロボットアームは、機械的強度、耐摩耗性、耐熱性、耐食性に優れており、重荷重、高頻度動作、高温、腐食性の高い作業条件下でも長期間安定した性能を発揮します。この優れた耐久性により、アルミナロボットアームの耐用年数が効果的に延長され、部品交換の効率とコストが削減されます。

Semicorexアルミナロボットアームの応用例

Semicorex アルミナ ロボット アームは、エッチング、薄膜堆積、イオン注入、CMP プロセスなどの半導体製造手順のフロントエンドに広く適用されています。真空および高清浄度の動作条件下で、さまざまなプロセス チャンバーおよび装置にわたって、半導体ウェハおよびコンポーネントを安定して安全かつ正確に支持、搬送、および位置決めすることができます。