アルミナ ベルヌーイ ロボット アーム

ロボットアームは主にフォトリソグラフィーやエッチングなどの半導体製造の前工程に適用され、半導体ウェーハの取り扱い、搬送、位置決めに直接関与します。セミコレックスアルミナベルヌーイ ロボット アームは、ベルヌーイの原理に基づいてウェーハの吸着と搬送を実現するセラミック製のエンドエフェクタで、清浄度、安定性、精度、効率、信頼性において優れた性能を発揮します。

非接触吸着

Semicorexのアルミナベルヌーイロボットアームは、特別に設計された形状とエアフローシステムを活用することで、ウェハの確実かつ安定した非接触吸着を実現します。この非接触操作方法により、半導体ウェーハとの直接接触が回避され、物理的接触によるウェーハの汚染や損傷を大幅に防止できるため、超クリーンな作業条件や繊細なウェーハ搬送に特に適しています。

信頼できる物理的および化学的性能

アルミナセラミックは優れた硬度と強度を特徴とするセミコレックスアルミナベルヌーイですロボットアーム変形や損傷がなく、半導体ウエハの長期取り扱いに最適です。

Semicorex アルミナ ベルヌーイ ロボット アームは、信頼性の高い耐化学腐食性も備えており、厳しい腐食性ガスやプラズマの動作環境に耐えることができ、長期間にわたって一定の耐久性を示します。

徹底した清浄度管理

Semicorex アルミナ ベルヌーイ ロボット アームは、高純度アルミナ粉末から精密等方圧プレスと高温焼結によって製造されています。この正確な材料選択と加工方法により、純粋で緻密なセラミック構造を持つ Semicorex アルミナ ベルヌーイ ロボット アームが可能になります。これにより、動作条件からの望ましくない不純物によって引き起こされるウェーハ汚染のリスクが大幅に低下します。

優れた精度制御

Semicorex のアルミナ ベルヌーイ ロボット アームは、精密な研削と研磨で仕上げられており、優れた寸法精度と優れた表面平坦性を備えているため、高精度の自動半導体製造に非常に適しています。さらに、Semicorex アルミナ ベルヌーイ ロボット アームは、厳しい温度変動のある環境にさらされた場合でも優れた熱安定性を誇り、優れた繰り返し位置決めとハンドリング精度を維持できます。