MOCVDリアクター用サセプター

Semicorex の MOCVD リアクター用サセプターは、炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などのさまざまな用途の半導体産業で使用される高品質の製品です。当社の製品はギア形状とリング形状があり、耐高温酸化性を実現するように設計されており、1600℃までの温度で安定しています。

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製品説明

当社の MOCVD リアクター用サセプターは、高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造され、高純度を保証します。製品の表面は緻密で粒子が細かく、硬度が高いため、酸、アルカリ、塩、有機試薬に対して耐食性があります。
当社の MOCVD リアクター用サセプターは、すべての表面を確実にコーティングし、剥離を回避し、最適な層流ガスフローパターンを実現するように設計されています。この製品は熱プロファイルの均一性を保証し、プロセス中の汚染や不純物の拡散を防ぎ、高品質の結果を保証します。
Semicorex では、顧客満足度を優先し、費用対効果の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

MOCVDリアクター用サセプターのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300

MOCVD用SiCコートグラファイトサセプタの特長

- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。
高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。
耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
- 最適な層流ガス流パターンを実現
- 熱プロファイルの均一性を保証
- 汚染や不純物の拡散を防止します。