スリーブ型グラファイトヒーター

セミコレックスのスリーブ型グラファイトヒーターは、抵抗加熱効果を利用し、電気から熱への高効率変換を実現し、結晶成長炉内の素早い温度上昇と均一な熱分布を実現します。ポリシリコン材料を効果的に溶解し、単結晶形成に必要な一貫した熱条件を構築できます。

セミコレックススリーブ型グラファイトヒーターのメリット

Semicorex のスリーブ型グラファイト ヒーターは、以下に挙げる複数の優れた性能を備えており、高温、高純度、高真空、特殊雰囲気下での加熱用途に最適であり、先進的な半導体および太陽光発電産業における単結晶シリコン インゴットの製造において重要な役割を果たしています。

1.急速加熱性能

黒鉛の優れた導電性により、通電すると急速に発熱し、対象物に効率よく熱を伝えます。高級品製黒鉛Semicorex のスリーブ型グラファイト ヒーターは、必要な動作温度まで熱場の温度を急速に上昇させることができ、高品質の単結晶成長の厳しい要件を完全に満たします。

2.均一な熱分布

セミコレックススリーブタイプグラファイトヒーター優れた熱伝導率により、単結晶育成炉全体に均一な熱分布を提供できます。この性能により、局所的な過熱や温度変動によって引き起こされる結晶欠陥が効果的に回避され、単結晶シリコンインゴットの安定した品質が確保されます。

3.安定した熱安定性

グラファイトは 3000 °C を超える非常に高い融点を特徴とし、超高温アーク燃焼にさらされてもほとんど質量を失いません。この優れた特性により、Semicorex スリーブ型グラファイト ヒーターは、単結晶育成のための過酷な高温熱場においても軟化、変形、溶融することなく安定した構造を維持し、信頼性の高い性能を発揮することができます。

4. 強い耐食性

単結晶成長炉では、さまざまな腐食性のプロセスガスや化学物質が存在し、炉の内部コンポーネントを侵食する可能性があります。 Semicorex のスリーブ タイプ グラファイト ヒーターは、信頼性の高い耐食性を利用して腐食の攻撃に効率的に耐え、構造の完全性と一貫した性能を維持することができるため、コンポーネントの損傷と交換サイクルが大幅に短縮されます。