単結晶シリコンエピサセプタ

単結晶シリコンエピサセプタは、Si-GaN エピタキシープロセス用に設計された重要なコンポーネントであり、個別の仕様や好みに合わせて調整でき、特定の要件に完全に適合するオーダーメイドのソリューションを提供します。寸法の変更やコーティングの厚さの調整を必要とするかどうかにかかわらず、当社は、多様なプロセスパラメータに対応する製品を設計および提供する能力を備えており、それによって対象アプリケーションの性能を最適化できます。 Semicorex は、市場をリードする品質への取り組みと、競争力のある財務上の考慮事項により、お客様の半導体ウェーハ搬送要件を満たすパートナーシップを確立するという当社の熱意を強化しています。

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製品説明

エピタキシャル成長処理におけるサセプタには、高温に耐え、厳しい化学洗浄手順に耐える能力が必要です。単結晶シリコンエピサセプタは、エピタキシー装置用途で遭遇するこれらの厳しい要求に特に応えるために細心の注意を払って設計されています。

これらのサセプタは、高純度の炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイトで構成される構造を誇り、比類のない耐熱性をもたらし、均一な熱分布を確保して一貫したエピタキシー層の厚さと抵抗を実現します。

さらに、単結晶シリコンエピサセプタは、強力な化学洗浄剤に対して優れた耐久性を示します。微細なSiC結晶コーティングの利用により、汚れのない滑らかな表面がさらに得られます。これは、汚れのないウェーハが表面積全体の多数の点でサセプタと接触するため、効果的な取り扱いにとって最も重要です。

単結晶シリコンエピサセプタの利用により、揺るぎない信頼性と長寿命が保証され、頻繁な交換の必要性が軽減され、その後のダウンタイムとメンテナンス費用の両方が最小限に抑えられます。その頑丈な構造と卓越した運用能力は、プロセス効率の向上に大きく貢献し、最終的には半導体製造運用の領域における生産性と費用対効果を強化します。