SiC部品カバーセグメント

Semicorex SiC Parts Abdeck Segmenten は、SiC コーティングされたグラファイトで作られたコアを備えた最先端の設計を誇っています。この組み合わせにより、優れた熱伝導性だけでなく、高温や腐食環境に対する優れた耐性も保証され、半導体製造プロセスに理想的な選択肢となります。

グラファイト基板上の SiC コーティングにより熱効率が向上し、加工中の効率的な熱伝達が可能になります。この機能は、半導体ウェーハ全体で一貫した温度プロファイルを維持するのに役立ち、最終的には全体的な歩留まりとデバイスのパフォーマンスの向上につながります。

SiC パーツ Abdeck Segmenten は、半導体製造の厳しい条件に耐えられるように作られています。堅牢な構造により信頼性の高いパフォーマンスが保証され、ダウンタイムのリスクが軽減され、生産ラインの重要なコンポーネントの寿命が延びます。

SiC コーティングされたグラファイト セグメントは、さまざまな半導体製造セットアップとの互換性を考慮して設計されています。さまざまな処理環境への適応性により、生産プロセスに多用途性が加わり、既存のシステムへのシームレスな統合が可能になります。