SiC炉管

Semicorex SiC ファーネス チューブは、高度なカスタム高純度炭化ケイ素粉末を使用し、高度な 3D プリンティング プロセスで製造された高度な熱処理コンポーネントです。この成形アプローチにより、高度な機械的強度、化学純度、寸法安定性を備えた非常に大きな一体型構造を製造できます。 SiC 炉管は、プロセス全体の高温段階をカバーする太陽電池の製造に必要な仕様に合わせて設計されています。これらは、稼働中に従来の炉管材料に比べて長い耐用年数、大きな信頼性、優れた利点を提供することが期待されています。

このイノベーションでは、（接合部や弱点のない）モノリシック構造の製造を可能にする積層造形に焦点を当てたいと考えています。従来の大型セラミックチューブの製造方法では、組み立てや接着が一般的であり、構造上の弱点や汚染の問題がありました。のSiC炉管熱安定性もこの製品の決定的な利点です。

の炭化ケイ素太陽光発電用途では、炉管内の成分は高純度でなければなりません。太陽電池が製造されるときは常に、PV 電池内に微量の汚染が存在すると、電池の効率と歩留まりに悪影響を与える可能性があります。 SiC 炉管は、プロセス環境への金属または粒子状不純物の導入を最小限に抑えるのに適した超クリーンな材料特性で構築されています。これにより、高効率太陽電池の製造に使用される高温の拡散、アニーリング、酸化ステップで非常に効果的になります。

熱安定性もこの製品の決定的な利点です。SiC炉管。チューブは 1000 °C を超える温度で継続的に動作します。熱安定性という重要な特性により、加熱と冷却のサイクルを繰り返しても構造と寸法が保持されます。このチューブの低い熱膨張と高い熱伝導率という有利な特性により、ウェーハまたは基板全体に良好かつ一貫した熱分布が可能になり、太陽光発電製造における応力、微小亀裂、または歩留り損失につながる熱勾配が最小限に抑えられます。これにより、PV セルの製造における一貫性と再現性が向上します。 SiC炉管は優れた機械的強度と耐久性を備えています。構造の設計強度により、長時間にわたる極端な温度での運転中の曲げやたわみ、さらには歩留まりの低下を最小限に抑えて、要求の厳しい炉の運転を実行することができます。

耐薬品性は、炉心管用途、特に攻撃的なガス (酸素、塩素、フッ素など) が存在する可能性のある太陽電池製造においても重要です。 SiC 炉管は緻密な微細構造と不活性な表面化学を備えており、腐食環境に効果的に耐え、時間の経過による劣化や汚染のリスクを軽減します。このユニークな特性は、炉システムの信頼性とプロセス チャンバー内の清浄度に貢献し、製品の品質と歩留まりに直接貢献します。

特殊な SiC 粉末配合による積層造形技術を経て、接合部を備えた単一ユニットとして製造され、微細構造、材料密度、機械的特性の均一性が良好になりました。これは、反ったり、ひび割れたり、劣化したりすることなく、最も過酷な熱条件に耐えることができるものを意味します。