MOCVD用SiCコートプレートキャリア

当社の MOCVD 用 SiC コーティングプレートキャリアは高純度を特徴としており、均一性と特性が一貫したキャリアをお探しの方に最適です。
当社の MOCVD 用 SiC コーティング プレート キャリアは、グラファイト上に高純度の炭化ケイ素をコーティングして作られており、最大 1600°C の高温での耐酸化性が高くなります。製造に使用される CVD 化学蒸着プロセスにより、高純度で優れた耐食性が保証されます。耐食性が高く、表面が緻密で粒子が細かいため、酸、アルカリ、塩、有機試薬に対して耐性があります。高温酸化耐性により、1600℃までの高温でも安定性を保証します。

MOCVD用SiCコートプレートキャリアのパラメータ

MOCVD用SiCコートグラファイトサセプタの特長

- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。
高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。
耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
- 最適な層流ガス流パターンを実現
- 熱プロファイルの均一性を保証
- 汚染や不純物の拡散を防止します。