MOCVD用SiCコーティンググラファイトベースサセプタ

当社の MOCVD 用 SiC コーティング グラファイト ベース サセプタは、高い耐熱性と耐腐食性を備えており、極端な環境でも優れた安定性を保証します。
この MOCVD 用 SiC コーティンググラファイトベースサセプタの機能は優れています。グラファイトに高純度の炭化ケイ素をコーティングして作られているため、1600℃までの高温での耐酸化性に優れています。製造に使用される CVD 化学蒸着プロセスにより、高純度で優れた耐食性が保証されます。担体の表面は緻密で、耐食性を高める微粒子が含まれているため、酸、アルカリ、塩、有機試薬に対して耐性があります。
当社の MOCVD 用 SiC コーティング グラファイト ベース サセプタは均一な熱プロファイルを保証し、最適な層流ガス フロー パターンを保証します。汚染や不純物のウェーハへの拡散を防ぐため、クリーンルーム環境での使用に最適です。 Semicorex は中国における SiC コーティングされたグラファイトサセプタの大規模な製造業者および供給業者であり、当社の製品は価格面で優れています。私たちは、半導体業界における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

MOCVD用SiCコーティンググラファイトベースサセプタのパラメータ

MOCVD用SiCコートグラファイトサセプタの特長

- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。
高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。
耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
- 最適な層流ガス流パターンを実現
- 熱プロファイルの均一性を保証
- 汚染や不純物の拡散を防止します。