シリコンエピタキシー用SiCバレル

Semicorex シリコンエピタキシー用 SiC バレルは、アプライドマテリアルズおよび LPE ユニットの厳しい要件を満たすように設計されています。精度と革新性を備えて作られたこの樽型サセプターは、高品質の SiC コーティングされたグラファイトから製造されており、シリコンエピタキシーアプリケーションにおいて優れた性能と耐久性を保証します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex SiC バレル (シリコンエピタキシー用) は、炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイト材料を使用して構築されています。この独自の構造により、熱衝撃や化学劣化に対する優れた耐性が保証され、サセプタの寿命が延長され、プロセスの信頼性が維持されます。

シリコンエピタキシー用の SiC バレル上の高度な SiC コーティングは、優れた熱伝導性と熱分布を提供し、サセプター全体の均一な温度プロファイルを促進します。これにより、プロセス制御が強化され、温度勾配が最小限に抑えられ、一貫したエピタキシャル層の成長が保証され、その結果、優れた均一性と純度を備えた高品質のシリコン膜が得られます。

当社のシリコンエピタキシー用 SiC バレルは、特定の要件や好みに合わせてカスタマイズできます。サイズ調整からコーティング厚さの変化まで、当社はさまざまなプロセスパラメータに対応し、特定の用途に合わせてパフォーマンスを最適化するための設計の柔軟性を提供します。

当社のシリコンエピタキシー用 SiC バレルは信頼性と長寿命を実現し、頻繁な交換に伴うダウンタイムとメンテナンスコストを削減します。その堅牢な構造と卓越したパフォーマンスはプロセス効率の向上に貢献し、最終的には半導体製造業務の生産性と費用対効果を向上させます。