SiCコーティングを施したバレルサセプタ

SiC コーティングを施した Semicorex バレルサセプタは、シリコンエピタキシャルプロセスの効率と精度を向上させるために設計された最先端のソリューションです。 SiC コーティングを施したこのバレルサセプターは、細部まで細心の注意を払って作られており、半導体製造の厳しい要件を満たすように調整されており、最適なウェーハホルダーとして機能し、ウェーハへのシームレスな熱伝達を促進します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

卓越した熱伝導性と耐久性で知られる高品質の等方性グラファイトで作られた当社の SiC コーティング付きバレルサセプターは、最も要求の厳しい環境でも信頼性の高いパフォーマンスと寿命を保証します。さらに、SiC コーティング付きバレルサセプターは特殊な炭化ケイ素 (SiC) コーティングを備えており、熱安定性が向上し、ウェーハ表面全体に均一な加熱分布が保証されます。

SiC コーティングを施したバレルサセプターの樽型デザインは、比類のない多用途性を提供し、アプライドマテリアルおよび LPE ユニットとの統合に最適です。その革新的な構成によりエピタキシャル成長プロセスが最適化され、使用するたびに一貫した高品質の結果が得られます。

SiC コーティングを施した Semicorex バレルサセプターの主な特長:

等方性グラファイト構造により、優れた熱伝導性と耐久性が保証されます。

炭化ケイ素 (SiC) コーティングにより熱安定性が向上し、均一な加熱分布が促進されます。

樽型のデザインにより、多用途性とアプライドマテリアルおよび LPE ユニットとの互換性が実現します。

シリコンエピタキシャルプロセスの特定の要件を満たすようにカスタマイズされ、最適なパフォーマンスと信頼性を保証します。