半導体石英ベルジャー

Semicorex Semiconductor の石英ベル ジャーは、通常、その卓越した純度、高温耐性、低熱膨張特性で知られる合成石英から製造されています。これにより、チャンバーが半導体製造プロセスに汚染物質や不純物を導入しないことが保証されます。

半導体石英ベルジャーは通常、円筒形またはドーム形で、半導体ウェハまたは基板を収容するために平坦またはわずかに湾曲した底部を備えています。フランジや O リング シールなど、精密に設計された気密シール機構を備えており、処理中にチャンバー内の真空または制御された雰囲気を維持します。

半導体石英ベルジャーは優れた光学的透明性を備えており、オペレーターは精度を損なったり干渉を引き起こすことなくチャンバー内のプロセスを視覚的に監視できます。石英は、半導体製造プロセスで一般的に使用されるほとんどの酸、塩基、および溶剤による化学的攻撃に対して非常に耐性があります。これにより、チャンバーの完全性が確保され、基板の汚染が防止されます。

石英は高い融点と熱安定性を備えているため、半導体石英ベルジャーは、堆積またはアニーリングプロセス中に遭遇する高温に変形や劣化することなく耐えることができます。

アプリケーション:

堆積: 半導体石英ベルジャーは、化学気相堆積 (CVD)、物理気相堆積 (PVD)、原子層堆積 (ALD) などのさまざまな堆積技術で使用され、材料の薄膜を半導体基板上に正確かつ均一に堆積します。

エッチング: プラズマ エッチング プロセスで使用され、半導体ウェーハから材料を選択的に除去し、高精度と再現性で複雑なパターンや構造を作成します。

アニーリング: ベルジャーはアニーリングプロセスで使用され、半導体ウェーハに制御された熱処理を施し、結晶化、ドーパントの活性化、堆積膜の応力除去を促進します。