15インチ クォーツベルジャー

Semicorex 15 インチ クォーツ ベル ジャーは、これらの課題に対応するように設計されており、収率を最大化するために熱均一性と材料純度が不可欠な中規模から大規模のバッチ処理に高性能ソリューションを提供します。半導体および薄膜産業では、プロセス チャンバーの完全性が最も重要です。ウェーハ サイズが増大し、ノードが縮小するにつれて、クリーンで安定した、化学的に不活性な環境に対する要件は交渉の余地のないものになります。

1. 材料科学: 溶融シリカの純度

当社のベルジャーの基盤は高純度です溶融シリカ（石英）。標準的なガラスとは異なり、石英はほぼ完全に SiO2 で構成されており、半導体製造に不可欠な独特の特性を備えています。

超低汚染: 当社のクォーツは、金属微量元素 (Al、Fe、Na、K など) を 10 億分の 1 (ppb) レベルまで最小限に抑えるように処理されています。これにより、高温サイクル中のウェーハへの不純物の拡散が防止され、デバイスの電気的完全性が確保されます。

優れた熱衝撃耐性: クォーツの熱膨張係数 (CTE) はほぼゼロです。これにより、15 インチ クォーツ ベル ジャーは、高スループット反応器の重要な要件である破損や構造疲労のリスクを伴うことなく、急速な温度上昇や急冷に耐えることができます。

優れた化学的不活性性: 石英は、ほとんどの酸 (フッ化水素酸を除く) および腐食性プロセス ガスに対して高い耐性を備えているため、激しいエッチングや堆積サイクル中にチャンバーが劣化したりガスが放出されたりすることはありません。

2. 精密工学と光学的透明性

15 インチのクォーツ ベル ジャーは、バッチ ウェーハ処理の目的に最大の容積と最適なガス フロー ダイナミクスを提供します。ジャーには垂直煙突 (ネックとも呼ばれる) があり、ガスの入口を提供したり、ジャーから真空を通してガスを抽出したりするのに最適に設計されています (上の画像に示されています)。

光学的透明性 - 高レベルの透過性石英素材スペクトルの紫外、可視、赤外領域の波長を放射するため、リアルタイム処理だけでなく、急速熱処理 (RTP) 用の外部ランプ ヒーターの使用も可能になります。

強化されたシール面 - ジャーのネックには特別に開発された不透明な白いシール (接地ジョイントとも呼ばれます) があり、リアクターのベースプレートとジャーの間に気密 (エアシール) かつ真空気密の界面を提供します。

応力緩和のためのアニーリング - すべての 15 インチ クォーツ ベル ジャーは、ジャーのブローや成形の機械的プロセスによってジャーにかかる内部機械的ストレスを緩和するために、厳格な熱アニーリング プロセスを経ています。そのため、ジャーが真空負荷下に置かれたときに自然故障する可能性が大幅に減少します。

3. 半導体工場における重要なアプリケーション

当社の 15 インチ クォーツ ベル ジャーは、以下の高価値プロセスに統合できるように特別に設計されています。

シリコン エピタキシー: 高品質の単結晶シリコン層を成長させるための透明で非反応性の容器を提供します。

プラズマ強化 CVD (PECVD): 高い絶縁耐力を維持しながら腐食性プラズマ環境に耐えます。

拡散と酸化: ゲート酸化物の形成とドーパントのドライブインのためのクリーンな高温チャンバーとして機能します。

光ファイバープリフォームの製造: 特殊ガラスの製造におけるシリカ層の高純度の堆積に最適です。

セミコレックスではベルジャーを精密実験機器として取り扱っております。当社のプロセスには以下が含まれます: 検証済みの電子グレードを使用した厳格な材料調達石英インゴット;伝統的なガラス吹き技術と CNC 制御の研削および研磨を融合した高度な製造。残留応力を検出するための偏光と正確な寸法チェックのためのレーザー干渉法を使用した徹底的な検査。