半導体グラファイトヒーター

半導体グラファイトヒーターは、高純度等方性黒鉛材料で作られた高度な加熱装置です。その優れた電気伝導性と熱伝導性により、半導体材料の成長と処理における正確な温度制御と均一な熱分布が保証されます。電流がヒーターを通過すると、グラファイトの内部電気抵抗に打ち勝ち、電気エネルギーを熱に変換し、グラファイトの温度を上昇させて加熱します。正確な温度制御は通常、電流強度とヒーター抵抗を調整することで実現できます。

セミコレックスが厳選した高純度静水圧グラファイト優れた熱伝導率を示し、加熱エリアの隅々まで素早く均一に熱を伝え、局所的な過熱を効果的に防ぎます。

特に、超高温アークアブレーションなどの超高温条件にさらされた場合でも、高純度等方性グラファイトは安定した物理的および化学的特性を維持します。通常、激しい熱により材料は溶けたり、変形したり、酸化したりしますが、このタイプのグラファイトはそれらの変化に耐えることができます。このため、単結晶シリコン引き上げや炭化ケイ素結晶成長など、半導体製造における高温プロセスに適しています。

半導体グラファイトヒーターはエネルギー効率が高いのが特徴です。予熱が不要で設定温度に早く到達し、従来のヒーターに比べて大幅な省エネを実現します。高い熱変換効率によりエネルギー消費を効果的に削減し、省エネ・消費量削減を実現します。動作中に汚染物質や排気ガスを発生させず、環境要件を満たしています。

また、半導体グラファイトヒーターにより長寿命を誇ります。高純度等方性グラファイトにより、優れた機械的強度、強力な耐食性、優れた耐熱衝撃性が得られます。高温や化学腐食などの影響を受けにくいため、耐用年数を延長できます。