硬質断熱

Semicorex剛性断熱材は、独自のアセンブリ構造、高い抵抗率、火花予防、良好な熱断熱性能を備えたSICエピタキシャルプロセス用に特別に設計されています。剛体断熱は、プレミアムショートセラミック繊維から作られた高性能熱バリアです。ハードフェルト構造に設計されたこの剛性断熱材は、優れた機械的強度と優れた熱断熱特性を組み合わせており、半導体製造環境内の厳しい条件に最適です。

半導体グレードのシリコンと炭化シリコンは通常、単結晶シリコンプル炉や炭化シリコン単結晶成長炉などの特定の機器を使用して、高温環境で準備する必要があり、準備環境にはより厳しい要件があります。たとえば、準備温度の維持と外部不純物干渉の低下。このため、高純度の炭素繊維から織り込まれた熱断熱材が生まれ、簡単な成形、壊れやすい、強い熱断熱性の性能、低不純物の内容の利点により、半導体の誕生前に真の「温かい衣類」になりました。

パンベースの炭素繊維フェルトとビスコースベースの炭素繊維を使用して、材料としてフェルトをフェルトすると、浸漬、結合、硬化、熱処理、加工などのプロセスを通じて硬質断熱が調製されます。粉末冶金工業用炉、真空焼結炉、太陽光発電単結晶炉、多結晶炉、半導体結晶成長炉などの高温機器で広く使用されています。優れた圧縮抵抗と優れた熱断熱性能を備えています。柔らかいフェルトと比較して、剛性の断熱材には、簡単な設置、安定したサイズ、低熱絶縁減衰、および長いサービス寿命の利点があります。