Semicorex のエピタキシャル リアクター チャンバー用 SiC コーティング サセプター バレルは、優れた熱分布と熱伝導特性を備え、半導体製造プロセス向けの信頼性の高いソリューションです。また、腐食、酸化、高温に対する耐性も優れています。