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半導体エピタキシャルリアクタのバレル構造

半導体エピタキシャルリアクタのバレル構造

Semicorex の半導体エピタキシャル リアクター用バレル構造は、その卓越した熱伝導率と熱分布特性により、LPE プロセスやその他の半導体製造用途での使用に最適です。高純度 SiC コーティングは、高温および腐食環境において優れた保護を提供します。

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