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ソリッドCVD SiCリング

Semicorex 固体 CVD SiC リングは、主に先進的な半導体産業のプラズマエッチング装置の反応チャンバーで使用される高性能のリング状コンポーネントです。 Semicorex ソリッド CVD SiC リングは、厳格な材料選択と品質管理を受けており、比類のない材料純度、卓越したプラズマ耐食性、および一貫した動作性能を提供します。

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SiC シール

Semicorex SiC シールは、最も要求の厳しい回転機器環境において優れた耐摩耗性、熱安定性、普遍的な化学的不活性性を提供するように設計された高性能機械面コンポーネントです。 Semicorex は、世界中のお客様に高精度の製品を供給できる、SiC セラミック材料の専門プロバイダーです。*

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SiC台座

Semicorex SiC ペデスタルは、高度なマイクロチャネル反応システムに必要な熱安定性と複雑な流体分布を提供するように設計された高精度、多機能ハードウェアコンポーネントです。セミコレックスは、この高純度SiCペデスタルをお客様のニーズに合わせてエンジニアリングし、供給することに特化しています*。

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SiC コーティングされたグラファイト治具

Semicorex SiC コーティングされたグラファイトジグは、緻密で均一な SiC コーティングで覆われた必須のグラファイトコンポーネントです。 Semicorex の SiC コーティングされたグラファイトジグは、グラファイトと炭化ケイ素の両方の優れた特性と組み合わされて、複雑な半導体パッケージングおよびテスト条件下で確実に機能します。

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SiCセラミック真空チャック

Semicorex SiC セラミック真空チャックは、高純度の焼結高密度炭化ケイ素 (SSiC) から製造されており、高精度のウェーハのハンドリングと薄化のための決定的なソリューションであり、比類のない剛性、熱安定性、およびサブミクロンの平坦性を提供します。 Semicorex は、世界中の顧客に高品質でコスト効率の高い製品を提供することに熱心です。*

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CVD SiC コーティング炉管

Semicorex CVD SiC コーティング炉管は、半導体ウェーハの酸化、拡散、アニーリングなどの高温半導体処理用に特別に製造されたハイエンドの管状コンポーネントです。 Semicorex は、高度な加工技術と成熟した製造経験を活用して、市場をリードする品質で精密機械加工された CVD SiC コーティング炉管を大切なお客様に提供することに尽力しています。

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