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SiCコーティングヒーター

Semicorex SiC コーティングヒーターの CVD SiC コーティングは、有機金属化学気相成長 (MOCVD) やエピタキシャル成長などのプロセスでよく遭遇する過酷で腐食性、反応性の環境から発熱体を保護する優れた性能を提供します。**

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カセットハンドル

Semicorex の PFA および PTFE 製カセットハンドルは、半導体処理におけるウェーハカセットの安全かつ効率的な移動を保証します。優れた耐薬品性と熱安定性を備えた高性能で耐久性のあるハンドルを備えたセミコレックスをお選びください。これにより、最適なウェーハ保護と製造効率が保証されます。*

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ウエハーカセットボックス

Semicorexウェハカセットボックスは、半導体製造におけるウェハの洗浄・乾燥性能の向上を目的とした、大きな開口面積を備えたPFAフッ素樹脂製カセットボックスです。高品質、耐久性、耐薬品性のウェーハハンドリングソリューションを提供してきた実績のあるセミコレックスをお選びください*。

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ウエハーカセット

Semicorex PFA ウェーハカセットは、半導体処理中にウェーハを安全に保持および搬送するために使用される高性能コンポーネントです。業界をリードする品質を備えたセミコレックスをお選びください。優れたウェーハ保護、汚染制御、自動化システムとの互換性が保証されます。*

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CVD SiCシャワーヘッド

セミコレックス CVD SiC シャワーヘッドは、電極とエッチングガスの導管として機能する、半導体エッチング装置のコアコンポーネントです。要求の厳しい半導体アプリケーションにおいて、優れた材料制御、高度な処理技術、信頼性が高く長期にわたるパフォーマンスを備えたセミコレックスをお選びください。*

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メタリックシャワーヘッド

ガス分配プレートまたはガスシャワーヘッドとして知られる金属シャワーヘッドは、半導体製造プロセスで広く利用されている重要なコンポーネントです。その主な機能は、ガスを反応チャンバーに均一に分配し、半導体材料がプロセスに均一に接触するようにすることです。ガス。**

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