カセットハンドル

Semicorex カセット ハンドルは、半導体製造プロセスにおける重要なアクセサリであり、ウェーハ処理のさまざまな段階でウェーハ カセットを安全かつ効率的に取り扱うことができます。 PFA (パーフルオロアルコキシ アルカン) や PTFE (ポリテトラフルオロエチレン) などの高品質素材で作られたこれらのカセット ハンドルは、極度の清浄度、耐薬品性、熱安定性が要求される環境において安全性とパフォーマンスの両方を確保できるように特別に設計されています。

半導体製造では、エッチング、成膜、洗浄、熱処理などのさまざまな段階を通過するウェーハを保持するためにウェーハカセットが使用されます。カセット ハンドルは、技術者と自動システムがこれらのカセットを安全に掴んでプロセス間で輸送するための主要なインターフェイスとして機能します。カセットを手動で移動する場合でも、ロボット システムを使用して移動する場合でも、これらのハンドルを使用すると、チャンバー、オーブン、または化学槽に安全に浸すことができ、重要な移行中にウェーハが損傷や汚染にさらされることがなくなります。

半導体プロセスでは、デリケートなウェハーや強力な化学薬品が使用されることが多いため、カセット ハンドルの品質と設計は、製造ワークフロー全体の整合性を維持する上で極めて重要な役割を果たします。

材料特性: P​​FA および PTFE

カセットハンドルの材質の選択は、極端な条件下での性能の鍵となります。 PFA と PTFE はどちらもフッ素ポリマーであり、優れた耐薬品性と熱安定性で知られており、半導体環境に最適です。

PFA (パーフルオロアルコキシアルカン): この材料は、その柔軟性と耐久性で広く知られています。 PFA は、劣化することなく最大 260°C (500°F) の温度に耐えることができるため、高温の処理チャンバーでの使用に適しています。また、非粘着性の特性により、材料が表面に付着するのを防ぎ、汚染のリスクをさらに軽減します。さらに、PFA は化学的に不活性であるため、半導体製造で通常使用される強酸、アルカリ、有機溶媒に対して耐性があります。

PTFE (ポリテトラフルオロエチレン): 低い摩擦係数と優れた非反応性で知られる PTFE も、カセット ハンドルに最適な材料の 1 つです。 PTFE は耐腐食性が高く、最大 260°C の温度に耐えることができます。化学的攻撃に対する高い耐性により、腐食性化学物質の存在下や長時間の浸漬中でも、安定性と効果を維持します。 PTFE の滑らかな表面と低摩擦特性も、ウェーハカセットの簡単かつ安全な取り扱いに貢献します。

どちらの材料も優れた清浄度レベルを提供し、半導体クリーンルーム環境における粒子汚染を防ぐために不可欠です。

Semicorex カセット ハンドルは、半導体製造プロセスの小さなコンポーネントではありますが、ウェーハ カセットの安全、効率的、汚染のない取り扱いを保証する上で重要な役割を果たします。 PFA や PTFE などの高性能素材で作られたこれらのハンドルは、優れた耐薬品性、熱安定性、耐久性を備えています。高品質のカセット ハンドルを選択することで、半導体メーカーはワークフローを最適化し、汚染リスクを軽減し、オペレーターと装置の安全性を同様に確保できます。