製品

Semicorex 精製グラファイトモールドは、さまざまな工業用鋳造および成形プロセスにおいて多用途かつ効率的なツールです。高純度、低熱膨張、優れた表面仕上げにより、精度と品質を必要とする用途に最適です。

グラファイト シード チャンクは、電子グレードのポリシリコンの製造、特に単結晶炉の加熱システム内で重要な役割を果たします。

Semicorex グラファイト イオン 注入装置は、微粒子組成、優れた導電性、および極限条件に対する回復力が特徴で、半導体製造の分野で重要なコンポーネントとして機能します。

Semicorex TaC プレートは、SiC エピタキシー成長プロセスで使用するために設計された高性能の TaC コーティングされたグラファイト コンポーネントです。半導体製造装置の性能と寿命を最適化する、信頼性の高い高品質の材料の製造に関する専門知識を備えたセミコレックスをお選びください*。

Semicorex TaC コーティング グラファイト パーツは、SiC 結晶成長およびエピタキシー プロセスで使用するために設計された高性能コンポーネントで、熱安定性と耐薬品性を強化する耐久性のある炭化タンタル コーティングを備えています。当社の革新的なソリューション、優れた製品品質、半導体業界の厳しいニーズに合わせてカスタマイズされた信頼性が高く耐久性の高いコンポーネントを提供する専門知識を備えたセミコレックスをお選びください。

Semicorex TaC コーティング グラファイト チャックは、半導体製造における正確なウェハ ハンドリングと高温プロセス向けに設計された高性能コンポーネントです。要求の厳しい半導体アプリケーションで最適なパフォーマンスと寿命を保証する、革新的で耐久性のある製品のセミコレックスをお選びください。*