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自己潤滑グラファイトブッシュ
自己潤滑性グラファイトブッシュは、潤滑剤を追加せずに機械部品に潤滑を提供できる革新的な軸受部品です。優れた自己潤滑特性、卓越した耐荷重能力、優れた高温耐性と耐腐食性を備えたセミコレックスの自己潤滑グラファイトブッシュは、要求の厳しい作業条件に対する最適な潤滑ソリューションです。
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アルミナセラミック真空チャック
アルミナセラミック真空チャックは、半導体ウエハをクランプして固定するために特別に設計された機能吸着部品です。高性能アルミナセラミックスから作られており、顕著な機械的強度、優れた電気絶縁性、優れた表面平坦性などの優れた特性を備えています。
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SIC横型炉管
SIC 横型炉管は、半導体材料に安定した高温処理環境を提供する、水平に配置された管状反応加熱容器です。 Semicorex の SIC 横型炉管は、比類のない材料特性、精密な設計、耐久性のある耐用年数を備えており、歩留まりと製品品質を向上させるための最適なソリューションです。
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SiCセラミックロボットアーム
SiC セラミック ロボット アームは、極めて重要な炭化ケイ素セラミック部品であり、半導体ウェーハを正確に取り扱い、位置決めするために特別に設計されています。優れた性能と長寿命を備えた SiC セラミック ロボット アームは、高度な半導体製造プロセスにおいて安定かつ効果的な動作を保証します。
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炭化ケイ素研削バレル
炭化ケイ素粉砕バレルは、材料と粉砕媒体(粉砕ビーズなど)を収容し、材料の精密な加工を実現する最先端のセラミック容器です。炭化ケイ素粉砕バレルは主に高性能の炭化ケイ素で作られており、優れた硬度、優れた耐摩耗性、優れた熱伝導性を備えています。
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炭化ケイ素フォーカスリング
重要なリング部品である炭化ケイ素フォーカスリングは、半導体プラズマエッチングにおけるウエハエッチングの均一性と安定性を向上させるために特別に設計されています。均一なプラズマ分布の促進と電場環境の最適化における優れた性能で知られています。
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