PECVDソーラーグラファイトボート

セミコレックスPECVDソーラーグラファイトボート高純度で精密に作られています静水圧グラファイト。 Semicorex の各 PECVD ソーラー グラファイト ボートは、高温プラズマ環境での安定した性能を保証するために、精密な機械加工、寸法検査、および電気的性能テストを受けています。

PECVD 処理中、PECVD ソーラー グラファイト ボートはシリコン ウェーハを PECVD 反応チャンバーに運び、RF 電源に接続された電極として機能します。隣接するボートプレート間に交流電圧が印加されると、電場が確立されます。電場の影響下で、反応性ガス (シラン SiH4 やアンモニア NH3 など) がグロー放電を起こし、プラズマを生成します。プラズマ中のイオンとフリーラジカルは前駆体ガスを分解し、シリコン (Si) イオンと窒素 (N) イオンを形成します。これらのイオンが結合して窒化ケイ素 (Si3N4) 分子を形成し、その後シリコン ウェーハの表面に堆積して薄膜を形成します。

1. 優れた熱安定性

Semicorx はシリコンウェーハの熱膨張係数に近い熱膨張係数を備えています。PECVDソーラーグラファイトボート加熱時の寸法変化は無視できるため、熱応力によるウェーハへの損傷が確実に回避されます。

2. 優れた電気伝導性と熱伝導性

Semicorex PECVD ソーラー グラファイト ボートは優れた導電性を備えており、RF 電流の迅速な伝導と均一な電場分布を保証します。これは、安定したプラズマの生成と均一なシリコン ウェーハの堆積に有益です。さらに、優れた熱伝導率により急速な冷却と加熱が容易になり、生産効率が向上すると同時に、局所的な過熱による成膜品質への影響を防ぎます。

3. 強い化学的安定性

プレミアムグレードの素材を使用しているため、Semicorex PECVD ソーラー グラファイト ボートは、反応性ガスやプラズマと反応しにくくなっています。この特性により、グラファイトボートの腐食、変形、不純物の堆積による不均一な電界分布が大幅に防止され、堆積プロセスの安定性とシリコンウェーハの表面品質が確保されます。

4. 優れた機械的強度

Semicorex PECVD ソーラー グラファイト ボートは、その卓越した機械的強度により、大量のウェーハ負荷の重量を容易に処理できます。積み込みや輸送中に発生する機械的ストレスに長期間耐えることができ、簡単に変形したり破損したりすることはありません。

5. 優れた寸法安定性

Semicorex PECVD ソーラー グラファイト ボートは、精密機械加工により、すべてのコンポーネントにわたって優れた寸法精度を実現します。蒸着中にシリコンウェーハを固定位置に保持するため、均一な蒸着と自動生産との互換性が保証されます。