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TSMC：2nmプロセスのリスクを来年試作

新しく発表された年次報告書の中で、TSMCのDeyin Liu会長とChieh-Jia Wei最高経営責任者（CEO）は、2nmプロセスに関する進捗状況を明らかにした。

エピタキシャル層の応用シナリオ

デバイス製造、通常 LED 発光デバイスでは、シリコン基板上に GaAs エピタキシャル層を必要とする一部のウェーハ基板上にさらにエピタキシャル層を構築する必要があることがわかっています。 SiC エピタキシャル層は、高電圧、大電流、その他の電力用途向けの SBD、MOSFET などのデバイスを構築するために、導電性 SiC 基板上に成長します。 GaN エピタキシャル層は、HEMT やその他の RF アプリケーションを構築するために、半絶縁性 SiC 基板の上に構築されます。

CVD炉についての議論

中国は引き続き最大の半導体装置市場

世界のエレクトロニクス設計と製造のサプライチェーンを代表する業界団体SEMIによると、半導体製造装置の世界売上高は2021年の1,026億ドルから5％増加し、昨年は過去最高の1,076億ドルとなった。

SiCウェハエピタキシー用CVDプロセス

SiC ウェハエピタキシーの CVD プロセスには、気相反応を使用して SiC 基板上に SiC 膜を堆積することが含まれます。 SiC 前駆体ガス、通常はメチルトリクロロシラン (MTS) とエチレン (C2H4) が反応チャンバーに導入され、そこで SiC 基板が制御された水素 (H2) 雰囲気下で高温 (通常は 1400 ～ 1600 ℃) に加熱されます。 。

日本は最近、23種類の半導体製造装置の輸出を制限した

日本は最近、23種類の半導体製造装置の輸出を制限した。この動きは半導体製造の世界的なサプライチェーンに重大な影響を与えると予想されるため、この発表は業界全体に波紋を広げた。