Semicorex グラファイト センター プレートまたは MOCVD サセプタは、化学気相成長 (CVD) 法によってコーティングされた高純度の炭化ケイ素で、ウェーハ チップ上にエピタキシャル層を成長させるプロセスで使用されます。 SiC コーティングされたサセプタは MOCVD に不可欠な部品であるため、優れた耐熱性、耐薬品性、および高い熱均一性が求められます。当社は、これらの要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに特別に設計しました。
Semicorex は、中国における炭化ケイ素コーティングされたグラファイト サセプタの大規模メーカーおよびサプライヤーです。当社は炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などの半導体産業に注力しています。当社の MOCVD 用 SiC コーティンググラファイトサセプタは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
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