イグニッションインジェクター

セミコレックスイグニッションインジェクター、またはクォーツイグニッション反応器は、イグニッションまたは反応の開始を必要とする高精度の化学プロセスを可能にすることを目的としたエンジニアリング成分です。融合した石英で作られたイグニッションインジェクターは、融合した石英の最適な特性（熱安定性、耐薬品性、構造的不正確性の耐性）を組み合わせて、半導体および研究用途で予測可能な使用を提供します。イグニッションインジェクターの使用は、極端な用途で安全性と精度を提供するために、汚染の可能性のないガス蒸気または反応性化合物の点火を可能にするプロセスで不可欠です。

クォーツは、Quartzが材料として最高レベルの純度と不活性を提供するという理由で、イグニッションインジェクター用に選択されました。金属と従来のセラミックは高い純度である可能性がありますが、不活性ではなく、微量汚染物質を導入する可能性があるため、汚染または分析的観察を変更することなく、敏感なプロセスを実施することは困難です。クォーツは、特に予期しない点火条件のために急速な温度変化が予想される点火環境では、熱衝撃を許容できる場合、理想的な材料と広く見なされています。同様に重要です。クォーツは、攻撃的な化学物質を生存して、長期使用環境での反応による腐食性ガスまたはエネルギーによる干渉または損傷を防ぎます。

イグニッションインジェクターは、局所的な反応ゾーンとして機能するように設計されており、燃焼またはプラズマベースの反応を作成するための清潔で制御された環境を提供します。これは、前駆体ガスを活性化したり、複雑な化学種を分解したり、血漿アシストの洗浄ステップを開始したりするために、点火反応器が必要になる可能性のある半導体製造部門で役立ちます。反応器壁の清潔さは、チャンバーと反応物の間の望ましくない二次反応が反応に悪影響を与えない可能性があり、したがって化学反応の正確な制御を提供できることを保証します。 Quartzの光学的透明度は、リアルタイムの光学監視機能を提供して、完全に観察されていない反応ゾーンを観察します。これは、実験的な作業や生産において有利です。

化学要素および熱要素に加えて、イグニッションインジェクターは、正確に製造されたオブジェクトの促進により、好まれています。コンポーネントは高トレランで製造された寸法であるため、原子炉に直接適合し、既存のシステムと統合するか、特定のツールまたはツールの配置に適切にすることもできます。内側の石英反応器の非多孔質の滑らかな表面は、チャンバーの内側の表面に取り付けられた材料の層がコンポーネントの再利用可能性のために一貫したサイクルになるため、粒子の付着を削減するのに有益です。コストを削減し、プロセスの効率を改善するのに役立ちます。これは、大量の製造業務に非常に関連しています。