高純度SiCカンチレバーパドル

Semicorex高純度SiCカンチレバーパドルは、炭化ケイ素セラミック、一般的にはSiSiCです。シリコン浸透プロセスにより製造されたSiCです。炭化ケイ素セラミック材料の強度と性能が向上します。高純度SiCカンチレバーパドルは、その形状から名前が付けられており、サイドファンが付いている長いストリップです。この形状は、高温炉内で水平ウェーハボートをサポートするために設計されています。

主に半導体製造プロセスにおける酸化、拡散、RTA/RTPなどに使用されます。したがって、雰囲気は酸素（反応性ガス）、窒素（シールドガス）、および少量の塩化水素です。温度は約1250℃です。つまり、高温酸化環境となります。この環境では耐酸化性があり、高温にも耐えられる部品が必要です。

Semicorex高純度SiCカンチレバーパドルは3Dプリントにより一体成型されており、サイズや加工に対する高い要求にも対応できます。カンチレバー パドルは本体とそのコーティングの 2 つの部品で作られ、Semicorex は本体の不純物含有量 <300pm、CVD SiC コーティング <5ppm を提供できます。そのため、表面は超高純度であり、不純物や汚染物質の侵入を防ぎます。また、耐熱衝撃性に優れた素材を使用しており、形状を長く保ちます。

セミコレックスは製造の非常に貴重なルート工程を行っております。 SiC本体に関しては、まず原料を準備し、SiC粉末を混合し、最終形状に成形および機械加工を行った後、部品を焼結して密度とさまざまな化学的特性を向上させます。本体を成形し、セラミック自体の検査を行い、寸法を満たすかを検査します。その後、大事な掃除をしていきます。認定されたカンチレバー パドルを超音波洗浄装置に入れて、表面の埃や油を除去します。洗浄後、高純度SiCカンチレバーパドルを乾燥炉に入れ、水分が乾くまで80～120℃で4～6時間焼きます。

次に、ボディにCVDコーティングを行います。コーティング温度は1200〜1500℃で、適切な加熱曲線が選択されます。高温では、シリコンソースと炭素ソースが化学反応してナノスケールのSiC粒子を生成します。 SiC 粒子は継続的に表面に堆積します。

部分的にSiCの緻密な薄い層を形成します。膜厚は100±20μmが一般的です。完成後、製品の外観、純度、寸法などの最終検査が行われます。