黒鉛電極

Semicorex グラファイト電極は、導電性、熱安定性、寸法精度が最重要視される半導体熱用途に使用する高純度で精密に製造されたグラファイト コンポーネントです。実際、これらのタイプの電極は高温炉、エピタキシー反応炉、熱処理チャンバーで使用され、温度や雰囲気の過酷な条件下でも安定した電流伝導、熱伝達、安定性を促進します。 Semicorex グラファイト電極の極めて高い純度、固体構造の均一性、および高い機械的特性により、要求の厳しい半導体用途の加熱要素として信頼性の高い熱性能を提供できます。

グラファイト電極は高品質の微粒子グラファイト材料から製造されており、それぞれの電極は押出成形、高温炭化、黒鉛化という高度なシーケンスを使用して作られています。グラファイトの微細構造は、ほぼ一定の電気抵抗率、高い熱伝導率、および機械的安定性を実現するように設計されています。最終製品は、高電力環境や急速な温度変動において物理的状態と均一な電流分布を維持する高純度の熱伝導体です。

当社のウルトラパフォーマンス黒鉛

当社のグラファイトは優れた性能の均一性を保証します。まず、炭化プロセス中、当社の炉には 115 立方メートルしかありません。当社の技術チームは、各炉のさまざまなエリアで黒鉛製品の温度場を監視しています。低温初期（0～200℃）では±10℃以内、高温（600℃以上）では±1℃以内に温度管理を行っております。当社では、異なるグラファイト粒子間の温度場を監視するだけでなく、個々のグラファイト片の表面温度と内部温度も監視し、±3℃以内に制御します。各炭化炉では8点の温度を監視しています。

次に、黒鉛化プロセス中、500 kg のバッチを例として、8 つの温度ポイントも監視します。黒鉛化後、均一性を確保するために、X、Y、Z 軸に沿って 24 点をランダムにサンプリングして破壊的にテストします。業界のほとんどの企業は X 軸、最大でも XY 軸のみをテストしており、一般的なメーカーでは 6 ～ 8 点のみをテストし、優れたメーカーでは 12 点をテストしています。 24点をテストします。

半導体の熱分野では、グラファイト電極は加熱アセンブリの重要な部分であり、加熱ゾーンに電流を流し、酸化、拡散、LPCVD、エピタキシーなどの特定のプロセス全体にわたる温度分布の制御を可能にします。グラファイト電極は、2000℃を超える温度でも信頼性の高い動作上の役割を果たし、酸化、歪み、加熱部位の汚染に耐えなければなりません。

Semicorex グラファイト電極は、拡散炉、エピタキシャル反応炉、高温処理装置のいずれで使用しても、最も要求の厳しい熱環境において比類のない性能を発揮します。 Semicorex は、高純度、正確な形状、高度な材料処理を組み合わせることで、安定した電流伝導、一貫した加熱、および次世代の半導体製造に不可欠な長期の動作信頼性を保証する電極ソリューションを提供します。

Semicorex は、半導体プロセスの特定の要件を念頭に置いて、あらゆる炉構成と電力仕様に適合するカスタム電極設計を設計できます。さまざまな直径、長さ、接続の種類、または表面仕上げを利用できます。必要に応じて、SiC や熱分解カーボンなどのコーティング材料を適用して、高酸素または反応性ガス環境での耐酸化性と耐用年数をサポートできます。

純度が高いため、グラファイト素材金属不純物 (およびガス状不純物) を信じられないほど低レベルに保ち、多くの場合炭素が 99.999% 以上であることを保証します。このような低レベルの不純物は、熱処理中の半導体ウェーハの汚染を回避するのに役立ちます。 Semicorex グラファイト電極は、大幅な深さの機械加工と研磨された表面仕上げと組み合わせて、最先端のウェーハ製造技術の機械的安定性と化学的安定性の両方を満たしています。

Semicorex グラファイト電極は、拡散炉、エピタキシャル反応炉、高温処理装置のいずれで使用しても、最も要求の厳しい熱環境において比類のない性能を発揮します。 Semicorex は、高純度、正確な形状、高度な材料処理を組み合わせることで、安定した電流伝導、一貫した加熱、および次世代の半導体製造に不可欠な長期の動作信頼性を保証する電極ソリューションを提供します。