深紫外 LED エピタキシャルサセプタ

Semicorex は、中国における炭化ケイ素コーティングされたグラファイトサセプタの大規模メーカーおよびサプライヤーです。当社は長年にわたり深紫外 LED エピタキシャルサセプタの製造および供給を行ってきました。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

深紫外 LED エピタキシャルサセプタは、LED の製造に不可欠です。 Semicorex 炭化ケイ素 (SiC) コーティングされたプレートにより、高品質の深紫外 LED ウェーハの製造がより効率的になります。 SiC コーティングは、緻密で耐摩耗性の高い炭化ケイ素 (SiC) コーティングです。耐食性、耐熱性に優れ、熱伝導性にも優れています。化学気相成長 (CVD) プロセスを使用して、グラファイト上に SiC を薄層で塗布します。
お客様の具体的な要件がどのようなものであっても、当社は MOCVD エピタキシーや半導体および LED 産業に最適なソリューションを特定します。
当社の深紫外 LED エピタキシャルサセプタは、最適な層流ガスフローパターンを実現し、熱プロファイルの均一性を保証するように設計されています。これにより、汚染や不純物の拡散が防止され、ウェーハチップ上で高品質のエピタキシャル成長が保証されます。
当社の深紫外 LED エピタキシャルサセプタの詳細については、今すぐお問い合わせください。

深紫外 LED エピタキシャルサセプタのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300

深紫外LEDエピタキシャルサセプタの特長

- より低い波長偏差とより高いチップ歩留まり
・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- 寸法公差が厳しくなると、製品歩留まりが向上し、コストが削減されます。
- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。
高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。
耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。