深紫外LEDエピタキシャルサセプタ

Semicorex は、中国におけるシリコンカーバイドコーティングされたグラファイトサセプターの大規模なメーカーおよびサプライヤーです。私たちは長年にわたり、深紫外LEDエピタキシャルサセプターのメーカーおよびサプライヤーです。当社の製品は優れた価格優位性があり、ヨーロッパとアメリカの市場のほとんどをカバーしています。中国での長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

お問い合わせを送信

製品説明

深紫外 LED エピタキシャルサセプタは、LED の製造に不可欠です。 Semicorex 炭化ケイ素 (SiC) コーティングされたプレートは、高品質の深紫外 LED ウエハーの製造をより効率的にします。 SiC コーティングは、緻密で耐摩耗性に優れた炭化ケイ素 (SiC) コーティングです。耐食性、耐熱性が高く、熱伝導性にも優れています。化学蒸着 (CVD) プロセスを使用して、グラファイト上に薄い層で SiC を適用します。
お客様の具体的な要件が何であれ、当社は MOCVD エピタキシーだけでなく、半導体および LED 業界に最適なソリューションを特定します。
当社の深紫外 LED エピタキシャルサセプタは、最高の層流ガスフローパターンを実現するように設計されており、熱プロファイルの均一性を保証します。これにより、汚染や不純物の拡散を防ぎ、ウェーハチップ上で高品質のエピタキシャル成長を保証します。
深紫外 LED エピタキシャルサセプタの詳細については、今すぐお問い合わせください。

深紫外 LED エピタキシャルサセプタのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC β 相
密度	g/cm ³	3.21
硬度	ビッカース硬度	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J・kg-1・K-1	640
昇華温度	℃	2700
強靭な強さ	MPa（RT 4点）	415
ヤング率	Gpa (4pt ベンド、1300â)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300

深紫外LEDエピタキシャルサセプタの特長

- 低い波長偏差と高いチップ歩留まり
・黒鉛基板、炭化ケイ素層ともに熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- より厳しい寸法公差は、製品歩留まりの向上とコストの削減につながります
- はがれにくく、全面コーティング
高温耐酸化性: 1600°Cまでの高温で安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって作られています。
耐食性：高硬度、緻密な表面、微粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。