CVD SiC コーティングされたグラファイトサセプター

Semicorex CVD SiC コーティンググラファイトサセプタは、半導体ウェーハの取り扱いと処理に使用される特殊なツールです。サセプタは、温度と材料特性を正確に制御しながら、基板上の薄膜、エピタキシャル層、その他のコーティングの成長を促進する上で重要な役割を果たします。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

CVD SiC コーティングされたグラファイトサセプターは、半導体ウェーハまたはその他の基板材料上への薄膜およびコーティングの制御された堆積に最適な熱環境を作り出すように設計された、細心の注意を払って設計されたコンポーネントです。これは CVD リアクター内の重要な要素であり、熱源として、また堆積プロセス中に基板を保持して位置決めするためのプラットフォームとして機能します。

利点:

正確な堆積: CVD SiC コーティングされたグラファイトサセプターにより、薄膜とコーティングの制御された正確な堆積が可能になり、高品質で再現性のある結果が得られます。

汚染の低減: SiC コーティングにより、サセプター自体からの汚染のリスクが最小限に抑えられ、堆積材料の純度が確保されます。

長寿命と耐久性: SiC コーティングにより、サセプタの酸化や化学反応に対する耐性が強化され、長期使用におけるサセプタの寿命と信頼性が向上します。