CVD SiC コーティングされたグラファイトシャワーヘッド

ウェーハ上に材料をエッチングおよび化学蒸着（CVD）するためのプラズマ装置では、プロセスガスは、CVD SiC コーティングされたグラファイトシャワーヘッドを通じてプロセスチャンバに供給されます。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex CVD SiC (化学気相成長炭化ケイ素) コーティングされたグラファイトシャワーヘッドは、化学気相成長 (CVD) やプラズマ化学気相成長 (PECVD) などのさまざまな工業プロセスで使用される特殊なコンポーネントです。これらの堆積プロセス中に前駆体ガスまたは反応種を基板の表面に供給する際に重要な役割を果たします。

CVD SiC コーティンググラファイトシャワーヘッドは、高純度グラファイトで作られ、CVD 法により SiC 薄層でコーティングされています。 CVD SiC コーティングされたグラファイトシャワーヘッドは、グラファイトと SiC の有益な特性を組み合わせており、高温や化学環境に対する耐性とともに、正確かつ均一なガス分布が必要とされるさまざまな蒸着プロセスにおいて不可欠なコンポーネントとなっています。

特徴：

耐薬品性

熱安定性

滑らかで均一な表面

汚染の軽減