単結晶シリコン用るつぼ

結晶成長における単結晶シリコン用の Semicorex ルツボの利点:

1. 最適な成長条件のための優れた熱特性:

高い熱伝導性: 単結晶シリコン用るつぼの卓越した熱伝導性により、るつぼ全体に均一な熱分布が保証されます。これにより、均一な融液温度と安定した結晶成長条件が促進され、より高い結晶品質が得られます。

耐熱衝撃性: 単結晶シリコン用るつぼは、成長プロセス中の急激な温度変化にも亀裂や反りを生じることなく耐えることができます。これは、結晶成長のための安定した環境を維持し、欠陥を防ぐために非常に重要です。

2. 機械的強度と耐久性による長寿命:

高い機械的強度: 製造中の静水圧プレスにより、るつぼに高い機械的強度が与えられます。これにより、溶融シリコンの重量や成長プロセス中の熱サイクルによって課される応力に耐えることができます。

シリコンによる低濡れ性: 溶融シリコンはグラファイトを容易に濡らしません。これにより、るつぼの浸食が最小限に抑えられ、その寿命が延び、汚染のリスクと生産コストが削減されます。

3. 結晶成長プロセスとの互換性:

チョクラルスキープロセス (CZ): 単結晶シリコン用るつぼは、大型で高品質のシリコンインゴットを成長させるための CZ 法で広く使用されています。その優れた熱特性と純度は、欠陥密度の低い単結晶の成長に貢献します。

フロートゾーンプロセス (FZ): CZ ほど一般的ではありませんが、単結晶シリコン用るつぼは超高純度シリコンを製造する FZ プロセスでも使用されます。この用途では、汚染レベルが低いことが重要です。

4. 費用対効果と持続可能性:

競争力のあるコスト: 単結晶シリコン用るつぼは、その高純度および性能にもかかわらず、代替材料と比較してコスト効率のバランスが優れています。

長寿命: 単結晶シリコン用るつぼの耐久性と耐侵食性により、寿命が長くなり、交換頻度が減り、全体の生産コストが削減されます。