ジルコニアZrO2ロボットアーム

Semicorex ジルコニア ZrO2 ロボット アームは、シームレスなウェーハの搬送とハンドリングを実現する半導体プロセスの重要なコンポーネントです。高温、腐食性、摩耗性の厳しい環境に耐えるように作られたこのセラミック アームは、比類のない耐久性と信頼性を誇ります。

Semicorex ジルコニア ZrO2 ロボット アームは、高純度セラミック原料を使用して細心の注意を払って作られています。冷間静水圧プレス、高温焼結、精密機械加工により、寸法精度±0.001mm、表面平滑度Ra0.1を実現。最高使用温度は1600℃で、高温・真空・腐食性ガス環境にも耐え、各種半導体製造装置に欠かせません。

独自のセラミック接合技術を採用した当社の中空ジルコニア ZrO2 ロボット アームは、接合後の動作温度が最大 800°C に達するという優れた熱安定性を示します。これにより、要求の厳しい産業環境でも一貫したパフォーマンスと寿命が保証されます。

当社の材料範囲には、酸化アルミナ、酸化ジルコニア、炭化ケイ素、帯電防止セラミック材料などのオプションが含まれており、さまざまな用途のニーズに対応する多用途性を提供します。

当社のジルコニア ZrO2 ロボット アームの信頼性、精度、復元力を信頼してシームレスな半導体処理作業を実現し、最も困難な環境でも比類のないパフォーマンスを実現します。